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龙图腾网获悉扬州韩思半导体科技有限公司申请的专利晶圆对中寻边机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966102U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421800187.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆对中寻边机构是由王恒;杨志勇设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对中寻边机构在说明书摘要公布了：晶圆对中寻边机构，其特征是，上层板固定于基座上方，电机驱动载片台旋转；下层板位于上层板下方，安装于基座之上，且下层板与导向柱之间滑动装配；气缸驱动下层板沿导向柱作升降动作；顶轴底部固定于下层板，顶部穿过上层板并环绕于载片台外侧；一对凸轮轴承对称安装于下层板的两侧边缘，一对夹持盘对称布置于载片台的两侧，一对凸轮条竖直且对称布置于一对夹持盘的底部；下层板升降过程中，在压缩弹簧作用下，凸轮条始终与凸轮轴承紧贴配合，带动一对夹持盘作相向或背向运动；两个光纤传感器分别用于感测载片台上的晶圆、以及感测晶圆的平边。本实用新型提高了晶圆寻边、对准的精度，动作简单，设计成本低，为半导体的制造提供便利。

本实用新型晶圆对中寻边机构在权利要求书中公布了：1.晶圆对中寻边机构，其特征是，包括对中单元、升降单元、旋转单元、光电式传感器；所述旋转单元包括电机、上层板、载片台、支撑柱，所述上层板通过多根支撑柱安装固定于基座上方，所述电机安装于上层板，用于驱动载片台的旋转；所述升降单元包括气缸、下层板、导向柱、顶轴；所述下层板位于上层板下方，并通过多根导向柱安装于基座之上，且下层板与导向柱之间滑动装配；所述气缸安装于基座，其输出轴与下层板底部相连，驱动下层板沿导向柱作升降动作；多根顶轴的底部固定于下层板，其顶部穿过上层板并环绕于载片台外侧；所述对中单元包括一对夹持盘、一对滑移组件、一对凸轮条、一对凸轮轴承、压缩弹簧；一对凸轮轴承对称安装于下层板的两侧边缘，一对夹持盘对称布置于载片台的两侧，一对凸轮条竖直且对称布置于一对夹持盘的底部；气缸驱动下层板升降过程中，在压缩弹簧作用下，凸轮条的凸轮结构始终与凸轮轴承紧贴配合，带动一对夹持盘沿对应滑移组件作相向或背向运动；所述光电式传感器包括两个光纤传感器，分别用于感测载片台上的晶圆、以及感测晶圆的平边。

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