深圳市大族半导体装备科技有限公司曾威获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利旋转载台及加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966109U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421755813.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型旋转载台及加工设备是由曾威;朱秋林;李东宇;尹建刚设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转载台及加工设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种旋转载台及加工设备，旋转载台包括安装座、旋转组件、旋转驱动机构、顶升机构和承载组件；其中旋转组件设于安装座上，且具备转动部，旋转驱动机构设于安装座上，并位于旋转组件周侧，用于驱动转动部转动；顶升机构包括顶升驱动件以及与顶升驱动件驱动连接的顶升件，顶升驱动件设于安装座上，承载组件设于转动部上，承载组件上还设有供顶升件穿过的孔。顶升机构和旋转组件相互独立，在工件随旋转组件转动一定角度，确保在竖直方向工件的待测区域与上方探针一一对应后，再由顶升机构沿着竖直方向升起并与探针对接，具备更高的对接精度。顶升机构位于旋转组件的中空区域，可降低载台厚度，提升载台刚性，进一步提升载台的精度。
本实用新型旋转载台及加工设备在权利要求书中公布了：1.一种旋转载台，其特征在于，包括：安装座；旋转组件，设于所述安装座上，且具备转动部，所述旋转组件中空设置，形成中空区域；旋转驱动机构，设于所述安装座上，并位于所述旋转组件周侧，用于驱动所述转动部转动；顶升机构，包括顶升驱动件以及与所述顶升驱动件驱动连接的顶升件，所述顶升驱动件设于所述安装座上，并位于所述中空区域；承载组件，设于所述转动部上，所述承载组件上还设有供所述顶升件穿过的孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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