中微半导体设备(上海)股份有限公司刘凯获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966070U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421743272.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种治具是由刘凯;张嘉赫设计研发完成，并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种治具，用于拆装半导体处理装置中的绝缘窗口，其包括：主体环件，其内径大于等于绝缘窗口的外径，可以套设在绝缘窗口的周向；定位件，其间隔设置在主体环件下表面，且与内衬顶部的定位孔对应；若干个固定卡塞，其具有沿主体环件径向延伸的固定厚度，且间隔固定在主体环件的内侧；至少一个调节卡塞，其安装在主体环件的内侧，可沿主体环件的径向移动；吊装件，其与主体环件固定连接；所述固定卡塞和调节卡塞可以抵住所述绝缘窗口周向的侧壁，调节所述调节卡塞在主体环件上的径向位置，实现所述绝缘窗口与内衬的同心安装，同时提高了拆装绝缘窗口的便捷性。
本实用新型一种治具在权利要求书中公布了：1.一种治具，用于拆装半导体处理装置中的绝缘窗口，其特征在于，所述半导体处理装置内设有内衬，所述绝缘窗口设置在内衬上，包括：主体环件，其内径大于等于所述绝缘窗口的外径，可以套设在所述绝缘窗口的周向外侧；定位件，其间隔设置在所述主体环件下表面，且与所述内衬顶部的定位孔对应；若干个固定卡塞，其具有沿主体环件径向延伸的固定厚度，且间隔固定在所述主体环件的内侧；至少一个调节卡塞，其安装在所述主体环件的内侧，可沿所述主体环件的径向移动；吊装件，其与所述主体环件固定连接；所述固定卡塞和调节卡塞可以抵住所述绝缘窗口周向的侧壁，调节所述调节卡塞在主体环件上的径向位置，使所述绝缘窗口与内衬安装同心。
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