深圳市大族半导体装备科技有限公司方林志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利激光退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966081U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421741632.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型激光退火设备是由方林志;刘佳鑫;童灿钊;巫礼杰;尹建刚;韩子娟;王帆帆设计研发完成，并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种激光退火设备，包括箱体、载台、激光装置、开关门组件和注气组件。箱体设有进料腔和加工腔，进料腔和加工腔连通，进料腔设有进料口；载台位于加工腔中，载台用于承载产品；激光装置用于发生激光，以对载台承载的产品进行退火；开关门组件包括第一门板和第一驱动件，第一驱动件用于驱使第一门板运动，以使第一门板打开或封闭进料口；注气组件包括第一注气件和第二注气件，第一注气件向进料腔注入第一气体，第一气体用于降低进料腔内氧气的含量；第二注气件用于向加工腔注入第二气体。本申请的激光退火设备能够快速降低箱体内氧气的含量。
本实用新型激光退火设备在权利要求书中公布了：1.激光退火设备，其特征在于，包括：箱体，设有进料腔和加工腔，所述进料腔和所述加工腔连通，所述进料腔设有进料口；载台，位于所述加工腔中，所述载台用于承载产品；激光装置，用于发生激光，以对所述载台承载的所述产品进行退火；开关门组件，包括第一门板和第一驱动件，所述第一驱动件用于驱使所述第一门板运动，以使所述第一门板打开或封闭所述进料口；注气组件，包括第一注气件和第二注气件，所述第一注气件向所述进料腔注入第一气体，所述第一气体用于降低所述进料腔内氧气的含量；所述第二注气件用于向所述加工腔注入第二气体，所述第二气体用于降低所述加工腔内氧气的含量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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