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捷捷微电(南通)科技有限公司郭成获国家专利权

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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种屏蔽栅沟槽型晶体管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222967301U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421729011.9,技术领域涉及:H10D30/63;该实用新型一种屏蔽栅沟槽型晶体管是由郭成;周榕榕;周宗凌设计研发完成,并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种屏蔽栅沟槽型晶体管在说明书摘要公布了:本申请提供了一种屏蔽栅沟槽型晶体管,涉及半导体技术领域。该屏蔽栅沟槽型晶体管包括晶圆衬底,晶圆衬底包括原胞区、截止环区和划片道区;截止环区环绕原胞区,划片道区环绕截止环区;原胞区设有屏蔽栅沟槽,截止环区设有截止环沟槽,划片道区设有应力平衡环沟槽,且应力平衡环沟槽内填充有钝化玻璃。由于应力平衡环沟槽与屏蔽栅沟槽、截止环沟槽的开口方向均相同,且应力平衡环沟槽内沉积有钝化玻璃,从而抵消掉晶圆原胞区和截止环区的压应力,确保晶圆应力平衡,改善了晶圆的翘曲,进而降低了晶圆制造中碎片的风险,大大降低了生产成本。

本实用新型一种屏蔽栅沟槽型晶体管在权利要求书中公布了:1.一种屏蔽栅沟槽型晶体管,其特征在于,所述屏蔽栅沟槽型晶体管包括晶圆衬底,所述晶圆衬底包括原胞区、截止环区和划片道区;所述截止环区环绕所述原胞区,所述划片道区环绕所述截止环区;所述原胞区设有屏蔽栅沟槽,所述截止环区设有截止环沟槽,所述划片道区设有应力平衡环沟槽,且所述应力平衡环沟槽内填充有钝化玻璃;其中,所述屏蔽栅沟槽、截止环沟槽和应力平衡环沟槽的开口方向均相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人捷捷微电(南通)科技有限公司,其通讯地址为:226000 江苏省南通市崇川区苏锡通科技产业园区井冈山路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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