上海诺睿科半导体设备有限公司周寅获国家专利权
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龙图腾网获悉上海诺睿科半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆顶针高度调节机构及晶圆承载设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966108U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421691343.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆顶针高度调节机构及晶圆承载设备是由周寅;张俊康;高峰;叶俊杰设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆顶针高度调节机构及晶圆承载设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于种晶工艺技术领域，公开了一种晶圆顶针高度调节机构及晶圆承载设备，其特征在于，包括：顶针底座；以及多个顶针，其与顶针底座通过螺纹连接以调节顶针的高度，其中在所述顶针与顶针底座之间设置有弹簧以将所述顶针保持在所设置的高度处。本实用新型通过顶针竖直设置在顶针底座上，通过螺纹相互连接从而调整高度，并通过在连接处加装弹簧，利用弹簧的形变产的弹力，将顶针固定在固定高度，完成晶圆水平度的调节，具有结构简单，调节方式灵活便捷，效率高的特点。
本实用新型一种晶圆顶针高度调节机构及晶圆承载设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆顶针高度调节机构，其特征在于，包括：顶针底座；以及多个顶针，其与顶针底座通过螺纹连接以调节顶针的高度，其中在所述顶针与顶针底座之间设置有弹簧以将所述顶针保持在所设置的高度处。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海诺睿科半导体设备有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区盛夏路570号1幢409室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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