鼎弘国际科技有限公司陈智岳获国家专利权
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龙图腾网获悉鼎弘国际科技有限公司申请的专利晶粒的固晶膜剥离机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222966080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421634063.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶粒的固晶膜剥离机构是由陈智岳;叶信宏设计研发完成,并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶粒的固晶膜剥离机构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶粒的固晶膜剥离机构,在一定位平台上放置一固晶膜,该固晶膜的背面由该定位平台的多数凸部所支持,该固晶膜的膜边由围绕该定位平台的多数个拉膜装置夹住;一真空控制部提供真空压力于各该凸部之间,各该凸部之间的该固晶膜受该真空压力的吸附而往下变形脱离其上的晶粒;然后,该拉膜组件往下移动,通过该膜边施予该固晶膜往周边方向的一拉伸力,该定位平台上的该固晶膜被拉伸,各该晶粒之间隔变宽,以利于一晶粒拾取装置的吸头拾取该固晶膜上的一或数个晶粒。
本实用新型晶粒的固晶膜剥离机构在权利要求书中公布了:1.一种晶粒的固晶膜剥离机构,其特征在于,包括:一定位平台,该定位平台的顶面设有一圆周框,该圆周框所框围的该顶面平均分布设置多数个凸部;该圆周框及该凸部支持及定位一固晶膜的背面,该固晶膜的正面黏附经切割晶圆所构成的多数个晶粒;一真空控制部,连接于该定位平台,提供真空压力于各该凸部之间;多数个可上下移动的拉膜装置,围绕该定位平台的圆周;各该拉膜装置夹住该固晶膜的一膜边。
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