浙江达仕科技有限公司马以洋获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江达仕科技有限公司申请的专利一种平面角度微调机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966100U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421618690.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种平面角度微调机构是由马以洋;张标设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平面角度微调机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种平面角度微调机构，该机构包括固定板，固定板的内缘活动连接有外旋转环，外旋转环的内缘活动连接有内旋转环；外旋转环的前后两侧设置有外旋转轴套，外旋转轴套的上端设置有外轴压板，内旋转环的左右两侧设置有内旋转轴，内旋转轴的上端设置有内轴压板，固定板的前后两端设置有内环调节螺钉，固定板的左右两端设置有外环调节螺钉。通过调节外环调节螺钉和内环调节螺钉，分别实现外旋转环和内旋转环的角度调整，达到高精度微调的目的。本发明结构设计合理，调节方便，能够有效提高半导体晶圆加工的精度和效率。
本实用新型一种平面角度微调机构在权利要求书中公布了：1.一种平面角度微调机构，其特征在于，包括：固定板1，所述固定板1的内缘活动连接有外旋转环2，所述外旋转环2的内缘活动连接有内旋转环3；所述外旋转环2的前后两侧设置有外旋转轴套4，所述外旋转轴套4的上端设置有外轴压板5，所述内旋转环3的左右两侧设置有内旋转轴6，所述内旋转轴6的上端设置有内轴压板7，所述固定板1的前后两端设置有内环调节螺钉8，所述固定板1的左右两端设置有外环调节螺钉9。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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