技感半导体设备(南通)有限公司林海涛获国家专利权
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龙图腾网获悉技感半导体设备(南通)有限公司申请的专利开门装置及芯片加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421621066.8，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型开门装置及芯片加工装置是由林海涛;赵凯;梁猛;卢升;时威;吕治玮;朱星宇设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本开门装置及芯片加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种涉及芯片加工技术领域的开门装置及芯片加工装置，包括上板机、载台以及开门模组，机架设有上板机上，载台和开门模组分别连接于上板机的机架上；载台包括底座、定位机构以及传感器，底座上分别设有定位机构和传感器、且传感器位于定位机构周边。本实用新型通过传感器进行料盒底部高度的检测，防止料盒发生倾斜；配合定位结构的使用，有效提高料盒接触的稳定性；通过调压阀对两侧气缸进行设定气压差，保证料盒底部的加紧，实现料盒的对准和定位；且通过多个浮动对中单元的使用，有效降低摩擦力。采用上下开合方式的开门模组，节省了使用占地空间，整体结构简单合理，使用便捷，提高生产效率。
本实用新型开门装置及芯片加工装置在权利要求书中公布了：1.一种开门装置，其特征在于，包括上板机10、机架11、载台20以及开门模组30，所述机架11上设有所述上板机10，所述载台20和所述开门模组30分别连接于所述机架11上；所述载台20包括底座21、定位机构24以及传感器201，所述底座21上分别设有所述定位机构24和所述传感器201、且所述传感器201位于所述定位机构24周边；所述开门模组30包括Z轴直线驱动模组31、门板32、第二滑轨36以及滑座37，所述Z轴直线驱动模组31竖直安装于所述机架11的开口14一侧边，所述第二滑轨36安装于所述开口14的另一侧边，所述第二滑轨36上设有所述滑座37，所述滑座37上固定有所述门板32一侧，所述门板32另一侧固定在所述Z轴直线驱动模组31的输出端上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人技感半导体设备(南通)有限公司，其通讯地址为：226017 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室(CSSD)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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