浙江创芯集成电路有限公司吴建明获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利光罩夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222965569U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421615829.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光罩夹具是由吴建明;刘攀;周国栋设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩夹具在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供了一种光罩夹具，其中，所述光罩夹具包括：底座；位于所述底座，以第一轴线为轴与所述底座转动配合的承载部；位于所述承载部，以第二轴线为轴与所述承载部转动配合的夹持组件，所述夹持组件用于夹持光罩；其中，所述第一轴线与第二轴线的延伸方向不同。采用上述技术方案，夹持组件以第一轴线为轴相对底座转动，以第二轴线为轴相对承载部转动，夹持组件具有两轴转动自由度，从而能够增加任一方向下夹持组件所夹持光罩的表面在整个转动周期内暴露的总面积，进而能够降低监测所需的监测空间。
本实用新型光罩夹具在权利要求书中公布了：1.一种光罩夹具，其特征在于，包括：底座；位于所述底座，以第一轴线为轴与所述底座转动配合的承载部；位于所述承载部，以第二轴线为轴与所述承载部转动配合的夹持组件，所述夹持组件用于夹持光罩；其中，所述第一轴线与第二轴线的延伸方向不同。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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