上海探跃半导体设备有限公司苏朝腾获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海探跃半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118710722B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410899296.9，技术领域涉及：G06T7/73；该发明授权一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质是由苏朝腾;陈峻峰;覃建宁设计研发完成，并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取对目标晶圆进行拍摄得到的目标图像，根据目标图像建立目标坐标系；根据目标图像识别目标晶圆的尺寸信息，若识别成功则提取目标晶圆的缺口形状特征；确定目标晶圆的目标位置，并根据缺口形状特征确定目标晶圆的目标姿态。本发明公开的晶圆识别定位方法，通过视觉识别的方法，可以提取晶圆的关键特征，进而对晶圆的位置和姿态进行调整，可以适用于多种类型的晶圆，解决了传统光刻机只能单一识别特定类型晶圆的问题。
本发明授权一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆识别定位方法，其特征在于，包括：获取对目标晶圆进行拍摄得到的目标图像，根据所述目标图像建立目标坐标系；利用设定目标检测算法根据所述目标图像识别所述目标晶圆的尺寸信息，若识别成功则利用设定目标检测算法提取所述目标晶圆的缺口形状特征；若尺寸信息识别失败和或缺口形状特征识别失败则发出警报进入人工识别步骤，将识别失败情况录入数据库用于模型训练；其中，所述缺口形状特征包括Flat特征和Notch特征；确定所述目标晶圆的目标位置，并根据所述缺口形状特征确定所述目标晶圆的目标姿态；其中，所述目标位置为所述目标坐标系的原点对应的位置，所述目标坐标系在拍摄所述目标晶圆的视场中建立，并以视场中心为原点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海探跃半导体设备有限公司，其通讯地址为：200000 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号