湖北鼎龙汇盛新材料有限公司;湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司冯玉璞获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鼎龙汇盛新材料有限公司;湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司申请的专利一种研磨布及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118721015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410889064.5,技术领域涉及:B24B37/24;该发明授权一种研磨布及其制备方法是由冯玉璞;王磊;郭纯;阮波;丁文强;刘志强设计研发完成,并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨布及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种研磨布,包括纤维基材两次含浸于发泡材料制备得到的弹性复合层;所述发泡材料包括一次含浸浆料和二次含浸浆料,所述一次含浸浆料的反应原料包括5~40wt%的二异氰酸酯、40~60wt%的聚烯烃多元醇、20~40wt%的聚酯多元醇、1~5wt%的脂肪族多元醇,所述二次含浸浆料包括预聚物和多胺化合物,所述预聚物的反应原料包括10~25wt%的二异氰酸酯、60~70wt%的聚烯烃多元醇、10~20wt%的脂肪族多元醇或脂环族多元醇。本发明利用两次含浸工艺,维持上述弹性复合层的性能,可提升硅片双面抛光的均一性,改善化学机械抛光的平坦化效果,且有效解决了硅片研磨边缘塌陷问题。
本发明授权一种研磨布及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种研磨布,其特征在于,包括纤维基材两次含浸于发泡材料制备得到的弹性复合层;所述发泡材料包括一次含浸浆料和二次含浸浆料,所述一次含浸浆料的反应原料包括5~40wt%的二异氰酸酯、40~60wt%的聚烯烃多元醇、20~40wt%的聚酯多元醇、1~5wt%的脂肪族多元醇,所述二次含浸浆料的反应原料包括预聚物和多胺化合物,所述预聚物的反应原料包括10~25wt%的二异氰酸酯、60~70wt%的聚烯烃多元醇、10~20wt%的脂肪族多元醇或脂环族多元醇;所述弹性复合层在6小时时pH为7.0时的吸水率与pH为10.0时的吸水率的差值在0.6~1.1%之间。
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