大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司孙家兴获国家专利权
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龙图腾网获悉大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司申请的专利喷淋装置及沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961533U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421476865.0,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型喷淋装置及沉积设备是由孙家兴;刘劲麟;陈培宁;湛良健设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋装置及沉积设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种喷淋装置及沉积设备,喷淋装置包括门体、托架、喷淋件和支撑机构,其中托架位于门体一侧,并靠近门体的下端设置;喷淋件设于门体一侧并位于托架上方,喷淋件与门体滑动连接,且滑动方向沿着靠近或远离门体的方向;支撑机构用于支撑喷淋件,支撑机构包括设于喷淋件下端的安装座,安装座与托架滚动连接或滑动连接。喷淋件的下端由支撑机构进行支撑,可避免因自重下垂导致的偏转,在门体关闭时保证了喷淋件与气路对接的密封性,可减少贵气的外泄。在喷淋板滑动时,安装座与托架同步发生滑动或滚动,确保支撑机构能平稳支撑。
本实用新型喷淋装置及沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种喷淋装置,其特征在于,包括:门体;托架,位于所述门体一侧,并靠近所述门体的下端设置;喷淋件,设于所述门体一侧并位于所述托架上方,所述喷淋件与所述门体滑动连接,且滑动方向沿着靠近或远离所述门体的方向;支撑机构,用于支撑所述喷淋件,所述支撑机构包括设于所述喷淋件下端的安装座,所述安装座与所述托架滚动连接或滑动连接。
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