广州增芯科技有限公司许峰获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种沉积工艺设备平台的传送腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222961542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421465701.8，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种沉积工艺设备平台的传送腔室是由许峰设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积工艺设备平台的传送腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种沉积工艺设备平台的传送腔室，位于常压状态的前端模块和平台工艺腔的缓冲腔室之间；传送腔室内设置至少两个晶圆操作台；晶圆操作台设置有下层晶圆承载台、上层晶圆承载架以及位于上层晶圆承载架和下层晶圆承载台之间的中空层；下层晶圆承载台上设置有若干导热柱、若干安装孔以及至少三个可升降柱；若干导热柱对应设置于若干安装孔内，略高出下层晶圆承载台主体平面，导热柱内设置至少一个贯通孔。本实用新型通过在导热柱上开设贯通孔的方式，增加其与安装孔的导流面积，减少气液体被抽走时对导热柱产生的作用力，防止导热柱在抽吸过程中发生位置变化，从而防止向缓冲腔室传片时晶圆与上层晶圆承载架发生挤压导致的晶圆破片。
本实用新型一种沉积工艺设备平台的传送腔室在权利要求书中公布了：1.一种沉积工艺设备平台的传送腔室，位于常压状态的前端模块和平台工艺腔的缓冲腔室之间，所述前端模块设置有机械手，所述机械手在所述前端模块和所述缓冲腔室之间传送晶圆；其特征在于，所述传送腔室内设置至少两个晶圆操作台，与所述晶圆操作台对应的两个晶圆传送窗口和朝向所述缓冲腔室的工艺处理窗口；所述晶圆操作台设置有下层晶圆承载台、上层晶圆承载架以及位于所述上层晶圆承载架和下层晶圆承载台之间的中空层；所述下层晶圆承载台上设置有若干导热柱、若干安装孔以及至少三个可升降柱；所述若干导热柱对应设置于所述若干安装孔内，略高出所述下层晶圆承载台主体平面，所述导热柱内设置至少一个贯通孔；所述机械手通过所述晶圆传送窗口将所述晶圆运送至所述晶圆操作台的中空层；所述三个可升降柱升起，接住所述晶圆后，下降至所述下层晶圆承载台主体平面，使所述晶圆与所述若干导热柱的顶端接触。
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