北京芯力技术创新中心有限公司徐鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯力技术创新中心有限公司申请的专利晶圆修边机台以及晶圆的修边方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118841344B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410816577.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆修边机台以及晶圆的修边方法是由徐鹏;章莱;杨洪文设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆修边机台以及晶圆的修边方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆修边机台、晶圆的修边方法和晶圆，其中晶圆修边机台包括：载台，用于承载晶圆，载台包括中间区域和围绕中间区域的周边区域，晶圆的中心与中间区域的中心重合，且晶圆的边缘位于周边区域；第一刀头，设置于载台的周边区域的上方；第一刀头的形状为圆柱形，第一刀头的轴线沿第一方向延伸，第一方向与载台所在的平面平行；且第一刀头的轴线不经过中间区域的中心，该晶圆修边机台不易发生故障，生产设计成本低，可便捷的进行修边工艺之间的切换，且经过该晶圆修边机台修边后形成的晶圆质量更高。
本发明授权晶圆修边机台以及晶圆的修边方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆修边机台，其特征在于，包括：载台，用于承载晶圆，所述载台包括中间区域和围绕所述中间区域的周边区域，所述晶圆的中心与所述中间区域的中心重合，且所述晶圆的边缘位于所述周边区域；第一刀头，设置于所述载台的周边区域的上方；所述第一刀头的形状为圆柱形，所述第一刀头的轴线沿第一方向延伸，所述第一方向与所述载台所在的平面平行；且所述第一刀头的轴线不经过所述中间区域的中心；所述第一刀头与所述中间区域的中心的连线，与所述第一方向不垂直，所述第一刀头对所述晶圆的边缘进行修边处理，形成的所述晶圆的侧壁的形貌为弧形形貌；所述晶圆修边机台包括至少两个所述第一刀头，沿所述载台的边缘方向，至少两个所述第一刀头间隔设置；至少有两个所述第一刀头设置于所述中间区域沿第二方向的相对两侧；所述第二方向与所述载台所在的平面平行，且所述第二方向与所述第一方向相交叉。
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