苏州普洛泰科精密工业有限公司徐恒军获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普洛泰科精密工业有限公司申请的专利一种晶圆导片设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421449634.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆导片设备是由徐恒军;任恒伟设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆导片设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆夹托移载机构及导片设备，其包括第三电机、受所述第三电机驱动进行左右运动的第三支撑板、旋转设置在所述第三支撑板上的第一夹托组件与第二夹托组件、固定在所述第三支撑板上且驱动所述第一夹托组件旋转的第四电机以及固定在所述第三支撑板上且驱动所述第二夹托组件旋转的第五电机，所述第一夹托组件与所述第二夹托组件平行设置共同实现对晶圆的夹托。本实用新型采用托举力实现对整排晶圆的夹持，不额外施加夹持力于晶圆，大大降低了晶圆隐裂风险。
本实用新型一种晶圆导片设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆导片设备，其特征在于：其包括并排设置的晶圆盒支撑座与石英舟支撑座、位于所述晶圆盒支撑座下方的第一顶托机构、位于所述石英舟支撑座下方的第二顶托机构以及晶圆夹托移载机构；所述晶圆夹托移载机构包括第三电机、受所述第三电机驱动进行左右运动的第三支撑板、旋转设置在所述第三支撑板上的第一夹托组件与第二夹托组件、固定在所述第三支撑板上且驱动所述第一夹托组件旋转的第四电机以及固定在所述第三支撑板上且驱动所述第二夹托组件旋转的第五电机，所述第一夹托组件与所述第二夹托组件平行设置共同实现对晶圆的夹托；所述第二顶托机构包括第二电机、受所述第二电机驱动进行上下运动的第二支撑板以及固定在所述第二支撑板上的内托支架，所述石英舟支撑座上设置有供所述内托支架穿过的第二避让缺口；所述内托支架包括支架底托、设置在所述支架底托低位上的一对第一托杆以及设置在所述支架底托高位上的一对第二托杆，所述第二托杆位于所述第一托杆的上方外侧，四个托杆共同构成对晶圆的支托；所述第一托杆、所述第二托杆上均排列设置有石英舟中的晶圆容置槽位置逐一对应的第二承载凹槽。
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