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义柏科技(深圳)有限公司张孝忠获国家专利权

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龙图腾网获悉义柏科技(深圳)有限公司申请的专利一种晶圆密闭干燥装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118513339B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410702256.0,技术领域涉及:B08B11/00;该发明授权一种晶圆密闭干燥装置是由张孝忠;田文超设计研发完成,并于2024-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆密闭干燥装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆干燥领域,具体是涉及一种晶圆密闭干燥装置,包括安装架和设置在安装架上的U形方管,U形方管内部设置有用于容纳同步带的U形容纳槽,水平板上设置有用于驱动同步带转动的调节机构,同步带上设置有多个对晶圆进行固定的固定机构,每组固定机构均包括固定环和同轴设置在固定环内的转动环,转动环内部沿轴线方向径向设置有多个卡爪,转动环一端沿轴线方向铰接有多个扇形叶片;U形方管上设置有用于向U形方管内部输送气体的送气机构,U形方管一端还设置有封堵机构;本申请能够使晶圆在相对密闭的环境下与往返晃动的清洗液接触,并通过送气机构对晶圆进行烘干,从而确保晶圆干燥效率,避免晶圆二次污染。

本发明授权一种晶圆密闭干燥装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆密闭干燥装置,包括安装架和设置在安装架上的U形方管,安装架上端设置有水平板,水平板上设置有两个用于容纳U形方管的矩形凹槽,U形方管两端设置在对应的矩形凹槽内;其特征在于,还包括同步带、调节机构、固定机构、送气机构和封堵机构;U形方管内部设置有用于容纳同步带的U形容纳槽,调节机构设置在水平板上并用于驱动同步带进行转动,固定机构有多组,固定机构设置在同步带上并用于对晶圆进行固定;每组固定机构均包括固定环、连接件和转动环;固定环通过连接件与同步带连接,转动环同轴能够转动的设置在固定环内部,转动环与固定环之间能够转动的设置有调节环,转动环内部径向设置有多个能够随着调节环转动同步移动的抵触杆,每个抵触杆靠近转动环轴线的一端设置有卡爪;转动环一端径向设置有多个铰接槽,每个铰接槽内均铰接有扇形叶片,转动环外壁同轴设置有轴向环,轴向环一端径向设置有多个第一铰接部,每个扇形叶片上设置有第二铰接部,第一铰接部与对应第二铰接部之间通过铰接杆连接;U形方管一侧外壁设置有用于添加清洗液的加水口,送气机构设置在U形方管远离加水口的一侧并用于向U形方管内部输送气体,封堵机构设置在U形方管靠近送气机构的一端并能够随着同步带的转动间隙性的对U形方管开口端进行封堵和打开。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人义柏科技(深圳)有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房401、501,4栋厂房201-401,第五栋101-601及12号4栋101-501,5栋101-301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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