山东强茂电子科技有限公司方廷宇获国家专利权
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龙图腾网获悉山东强茂电子科技有限公司申请的专利一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222965141U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421129891.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置是由方廷宇;许忠信;李庆申;杨士林;张辉设计研发完成，并于2024-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置，涉及晶圆检测装置技术领域，包括箱体，箱体上安装有箱门，箱体内上端安装有检测器，箱体内固定安装有横板，横板上端设置有转盘，横板上设置有驱动机构，驱动机构与转盘相连并用于带动转盘转动，转盘上开设有多个呈圆周阵列分布的凹槽，凹槽贯穿转盘，凹槽均滑动设置有滑座，本设计的一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置通过直线电机带动滑座沿着内杆的方向移动，使滑座和顶板同步移动，圆盘和顶板同步移动，圆盘上的晶圆可移动至检测器下方并进行外观缺陷检测，可自动进行晶圆的上料和检测工作。
本实用新型一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置，其特征在于，包括箱体（1），所述箱体（1）上安装有箱门（2），所述箱体（1）内上端安装有检测器，所述箱体（1）内固定安装有横板（4），所述横板（4）上端设置有转盘（5），所述横板（4）上设置有驱动机构，所述驱动机构与所述转盘（5）相连并用于带动转盘（5）转动，所述转盘（5）上开设有多个呈圆周阵列分布的凹槽（6），所述凹槽（6）贯穿所述转盘（5），所述凹槽（6）均滑动设置有滑座（7），所述滑座（7）上贯穿有内杆（8），所述内杆（8）两端分别固定连接在凹槽（6）内侧，所述滑座（7）上端均固定安装有顶板（9），所述顶板（9）上均能够转动安装有圆盘（10），所述凹槽（6）内均安装有直线电机（11），所述直线电机（11）的滑动块与所述滑座（7）固定连接。
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