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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利一种声波谐振器及其制备方法、通信器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118174681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410315091.1，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种声波谐振器及其制备方法、通信器件是由吴进波设计研发完成，并于2024-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种声波谐振器及其制备方法、通信器件在说明书摘要公布了：本发明涉及谐振器技术领域，特别涉及一种声波谐振器及其制备方法、通信器件。该声波谐振器至少包括支撑衬底，以及位于支撑衬底上的导电层、压电薄膜和叉指换能器；叉指换能器至少部分设于压电薄膜上；导电层至少包括底电极；压电薄膜至少部分设于底电极上；底电极小于叉指换能器的孔径区沿第一方向的长度，声波谐振器的目标模式为纵向电场作用下激发的声波模式，叉指换能器的电极指的间距与声波谐振器的谐振频率的乘积小于支撑衬底的慢剪切波声速，通过使得底电极收缩到压电薄膜以内避免器件短路，从而可以用更简单的工艺步骤实现对底电极的图案化处理，也避免了体声波模式的激发以及由其造成的杂散响应和体声波能量泄露的问题。

本发明授权一种声波谐振器及其制备方法、通信器件在权利要求书中公布了：1.一种声波谐振器，其特征在于，包括支撑衬底，以及位于所述支撑衬底上的导电层、压电薄膜和叉指换能器；所述叉指换能器至少部分设于所述压电薄膜上；所述导电层至少包括底电极；所述压电薄膜至少部分设于所述底电极上；所述底电极沿第一方向的长度不超过所述叉指换能器的孔径区沿所述第一方向的长度，且所述底电极与所述叉指换能器不接触；所述孔径区为所述叉指换能器的电极指重叠的区域；所述第一方向为所述叉指换能器的电极指的长度方向；所述声波谐振器的目标模式为纵向电场作用下激发的声波模式，所述叉指换能器的电极指的间距与所述声波谐振器的谐振频率的乘积小于所述支撑衬底的慢剪切波声速；所述叉指换能器的电极指的间距为所述叉指换能器的同一汇流条上相邻电极指的中心之间的距离；所述叉指换能器的汇流条与所述支撑衬底的顶部接触，且所述叉指换能器的电极指至少部分位于所述压电薄膜上，且所述导电层还包括多个导电区，所述导电区与所述底电极之间存在预设间隙；所述预设间隙位于空气隙区或者位于所述空气隙区和汇流条区域；所述空气隙区为电极指的自由端与对侧汇流条之间的区域。

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