恭喜江西乾照光电有限公司霍丽艳获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西乾照光电有限公司申请的专利一种深紫外LED外延片、外延生长方法及LED芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116632138B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310906428.1,技术领域涉及:H10H20/825;该发明授权一种深紫外LED外延片、外延生长方法及LED芯片是由霍丽艳;滕龙;吴洪浩;崔晓慧;刘兆设计研发完成,并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深紫外LED外延片、外延生长方法及LED芯片在说明书摘要公布了:本发明提供一种深紫外LED外延片、外延生长方法及LED芯片,通过设置由若干二维的AlN子层周期性交替生长而成的空穴传导层,且在空穴传导层中引入碱土金属元素Mg、Ca、Zn、Sr掺杂,使二维AlN子层实现P掺杂,提供空穴,同时由于磁性粒子的引入,可以在AlN结构中引入浅受主杂质能级,由于浅受主杂质能级的引入,更有利于空穴电离和传导,从而提高深紫外LED的发光效率。
本发明授权一种深紫外LED外延片、外延生长方法及LED芯片在权利要求书中公布了:1.一种深紫外LED外延片,其特征在于,包括空穴传导层,所述空穴传导层由若干二维的AlN子层周期性交替生长而成,其中,空穴传导层为未掺杂的AlN子层、掺杂Mg的AlN子层、掺杂Ca的AlN子层、掺杂Zn的AlN子层、掺杂Sr的AlN子层中任意两层、三层、四层或者五层周期性交替生长而成的复合结构,共生长10个周期;或者,所述空穴传导层为未掺杂的AlN子层和掺杂Mg、Ca、Zn、Sr中的任意几种的组合的AlN子层周期性交替生长而成的复合结构,共生长10个周期;所述深紫外LED外延片还包括衬底、AlGaN缓冲层、非掺杂AlGaN、N型AlGaN层、多量子阱层、P型AlGaN层以及P型接触层;所述AlGaN缓冲层、所述非掺杂AlGaN、所述N型AlGaN层、所述多量子阱层、所述空穴传导层、所述P型AlGaN层以及所述P型接触层依次外延生长在所述衬底上。
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