恭喜株洲火炬安泰新材料有限公司唐安泰获国家专利权
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龙图腾网恭喜株洲火炬安泰新材料有限公司申请的专利一种高纯铝靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116791050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310901827.9,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种高纯铝靶材的制备方法是由唐安泰;唐智勇;程波设计研发完成,并于2023-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯铝靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高纯铝靶材的制备方法,包括以下步骤:采用硼酸铝晶须复调壳聚糖液进行喷洒处理,喷洒至步骤二产物完全润湿,结束;将步骤三的产物置于310‑320℃下热处理10‑20min,然后于盐浴剂中处理10‑20min,处理结束;最后再热温化改进处理,处理结束,得到高纯铝靶。本发明高纯铝靶材采用纯铝经过溶化、冷却形成铝锭体,再通过步骤二的热处理先优化、活化产品的活性度,再恒温冷却,使产品性能温和,从而使产品的晶粒尺寸、致密性以及导电性得到协调改进。
本发明授权一种高纯铝靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高纯铝靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:将高纯铝锭置于真空炉内重熔,完全熔化后得到高纯铝,然后置于模具中成型,得到铝锭体;步骤二:将铝锭体先于130-140℃下热处理10-20min,然后以1-3℃min的速率冷却至50-55℃,保温;步骤三:随后采用硼酸铝晶须复调壳聚糖液进行喷洒处理,喷洒至步骤二产物完全润湿,结束;步骤四:将步骤三的产物置于310-320℃下热处理10-20min,然后于盐浴剂中处理10-20min,处理结束;步骤五:最后再热温化改进处理,处理结束,得到高纯铝靶材;所述硼酸铝晶须复调壳聚糖液的制备方法为:S01:将10-15份质量分数6%的壳聚糖水溶液中加入2-6份质量分数3%的硝酸镧溶液、1-3份磷酸缓冲溶液,先搅拌均匀,随后再加入1-2份烷基磺酸钠,搅拌充分,得到壳聚糖调节液;S02:将硼酸铝晶须送入到110-120℃下热处理5-10min,然后以1-3℃min的速率冷却至45℃,随后加入硼酸铝晶须总量10-15%的球磨液,球磨改性处理,处理结束,水洗、干燥,得到硼酸铝晶须球磨剂;S03:将硼酸铝晶须球磨剂按照重量比1:5加入到壳聚糖调节液中,搅拌充分,得到硼酸铝晶须复调壳聚糖液;所述热温化改进处理的具体操作步骤为:S11:将步骤四产物在400-420℃下热处理10-20min,先以1-3℃min的速率冷却至210-220℃;S12:然后再进行水冷处理,以20-25℃min的速率降至120℃,最后以恒温速率降至室温,即可;所述球磨液的制备方法为:将Re粉先预热到45-55℃,保温处理,然后按照重量比1:5加入到海藻酸钠水溶液中,然后加入Re粉总量10-15%的硅烷偶联剂KH560、Re粉总量2-5%的草酸钠,搅拌均匀,得到球磨液。
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