恭喜吉林大学王希斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜吉林大学申请的专利一种模式可选择调制的四模波导光开关及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116400455B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310303703.0,技术领域涉及:G02B6/125;该发明授权一种模式可选择调制的四模波导光开关及其制备方法是由王希斌;孙士杰;车远华;王菲;张大明设计研发完成,并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模式可选择调制的四模波导光开关及其制备方法在说明书摘要公布了:一种模式可选择调制的四模波导光开关及其制备方法,属于平面光波导器件技术领域。由硅片衬底、聚合物下包层、条形结构的聚合物光波导芯层、聚合物上包层和加热电极组成。本发明的光开关利用了非对称Y分支结构和MMI光波导结构简单和有机聚合物材料热光系数大的优势,通过对MMI结构加热实现对四个光学模式进行开关;通过对不同的加热电极进行加热,既可以对四个模式中的两个实现开关功能,也可以对四个模式同时实现开关功能;另外,采用聚合物材料使得器件的制备工艺更加简单,只需要旋涂、光刻、湿法刻蚀等常规工艺,有效降低了生产成本,提高了器件的生产效率且有利于大规模批量生产,使得该模式光开关能够应用到实际当中。
本发明授权一种模式可选择调制的四模波导光开关及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种模式可选择调制的四模波导光开关,其特征在于:从下至上依次由硅片衬底,在硅片衬底上制备的聚合物下包层,在聚合物下包层上制备的条形结构的聚合物光波导芯层,在聚合物下包层和聚合物光波导芯层上制备的聚合物上包层组成;聚合物光波导芯层由非对称Y分支结构和MMI光波导结构级联而成,沿光的传播方向依次由输入少模直波导、第一输入弯曲波导、第二输入弯曲波导、第一输入锥形波导、第二输入锥形波导、第一弯曲波导、第二弯曲波导、第一锥形波导、第二锥形波导、第一多模波导、第二多模波导、第三锥形波导、第四锥形波导、第三弯曲波导、第四弯曲波导、第一输出锥形波导、第二输出锥形波导、第一输出弯曲波导、第二输出弯曲波导和输出少模直波导组成;在第一多模波导和第二多模波导之上的聚合物上包层上制备有第一加热电极、第二加热电极和第三加热电极,第一加热电极制备在第一多模波导和第二多模波导之间的位置,第二加热电极制备在第一多模波导的外侧位置,第三加热电极制备在第二多模波导的外侧位置;输入少模直波导、第一输入弯曲波导、第二输入弯曲波导共同构成输入非对称Y分支结构;第一输出弯曲波导、第二输出弯曲波导、输出少模直波导共同构成输出非对称Y分支结构;第一锥形波导、第一多模波导、第三锥形波导共同构成第一MMI光波导结构;第二锥形波导、第二多模波导、第四锥形波导共同构成第二MMI光波导结构;第一输入锥形波导和第一弯曲波导用于连接输入非对称Y分支结构和第一MMI光波导结构,第二输入锥形波导和第二弯曲波导用于连接输入非对称Y分支结构和第二MMI光波导结构,第三弯曲波导和第一输出锥形波导用于连接第一MMI光波导结构和输出非对称Y分支结构,第四弯曲波导和第二输出锥形波导用于连接第二MMI光波导结构和输出非对称Y分支结构;光从输入少模直波导输入,经输入非对称Y分支结构后,不同的光学模式进入到不同的分支中;输入少模直波导可传输E11、E21、E12、E22模式;输入少模直波导、输出少模直波导的宽度相等为W1,第一输入弯曲波导、第一输出弯曲波导的宽度相等为W2,第二输入弯曲波导、第二输出弯曲波导的宽度相等为W1-W2,且W2≠W1-W2;通过分别对第一MMI光波导结构、第二MMI光波导结构的长度进行设计,使得在第一MMI光波导结构、第二MMI光波导结构的输出端为E11模式和E12模式的自映像位置。
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