恭喜华陆工程科技有限责任公司沈琛获国家专利权
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龙图腾网恭喜华陆工程科技有限责任公司申请的专利一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116143078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310147352.9,技术领域涉及:C01B7/07;该发明授权一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法是由沈琛;李超;刘继三;柯曾鹏;姚又省;董文胜;陈维平设计研发完成,并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法,包括回收氯化氢吸收塔以及加压泵;所述回收氯化氢吸收塔的回收氯化氢入口与尾气氯化氢解析塔的回收氯化氢出口连通,所述加压泵的入口与所述回收氯化氢吸收塔的氯化氢‑氯硅烷出口连通;所述回收氯化氢吸收塔具有四氯化硅入口。该回收系统不仅安全性能优异,而且能够有效节约多晶硅尾气回收过程中的能耗以及物耗,降低尾气回收的生产成本,提高企业的竞争力。
本发明授权一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统,其特征在于,包括回收氯化氢吸收塔、加压泵、回收氯化氢解析塔、第一换热器、第二换热器以及第三换热器;所述回收氯化氢吸收塔的回收氯化氢入口与尾气氯化氢解析塔的回收氯化氢出口连通,所述加压泵的入口与所述回收氯化氢吸收塔的氯化氢-氯硅烷出口连通;回收氯化氢包括氯化氢、氢气以及二氯硅烷;所述回收氯化氢吸收塔具有四氯化硅入口,所述回收氯化氢吸收塔用于通过四氯化硅吸收回收氯化氢的中的氯化氢以及二氯硅烷得到氯化氢-氯硅烷溶液;所述加压泵的出口与所述回收氯化氢解析塔的氯化氢-氯硅烷入口连通;所述回收氯化氢解析塔用于分离氯化氢-氯硅烷溶液,得到氯化氢和氯硅烷;所述尾气氯化氢解析塔的回收氯化氢出口与所述第一换热器的热介质入口连通,所述回收氯化氢吸收塔的氢气出口与所述第一换热器的冷介质入口连通;所述第一换热器的热介质出口与所述回收氯化氢吸收塔的回收氯化氢入口连通;所述加压泵的出口与所述第二换热器的冷介质入口连通,四氯化硅经所述第二换热器的热介质入口进入所述第二换热器;所述第二换热器的热介质出口与所述回收氯化氢吸收塔的四氯化硅入口连通;所述第三换热器的热介质入口与所述回收氯化氢解析塔的氯硅烷出口连通,所述第三换热器的冷介质入口与所述第二换热器的冷介质出口连通;所述第三换热器的冷介质出口与所述回收氯化氢解析塔的氯化氢-氯硅烷入口连通。
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