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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利一种多维调节的晶圆升降机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411477028.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种多维调节的晶圆升降机构是由张晓东设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多维调节的晶圆升降机构在说明书摘要公布了：本发明提供一种多维调节的晶圆升降机构，多维调节的晶圆升降机构包括升降杆、基准板、前后调节组件、调平组件与旋转组件，其中，基准板固定连接于升降杆的顶端，前后调节组件包括位于基准板上的前后位置调节板，调平组件包括位于前后位置调节板上的调平板、贯穿调平板并与前后位置调节板接触的调平螺栓与贯穿调平螺栓并旋入前后位置调节板的定位螺栓，旋转组件包括可绕转轴在预设角度范围内旋转的旋转板，旋转板包括水平板与竖直板，竖直板与晶圆提篮连接以带动晶圆提篮前后移动、调平及旋转。本发明的多维调节的晶圆升降机构能够实现多个维度的独立调节，提高调节的便捷性和操作性，提升与夹持装置的配合度，确保晶圆的准确对接和顺利转移。

本发明授权一种多维调节的晶圆升降机构在权利要求书中公布了：1.一种多维调节的晶圆升降机构，其特征在于，包括： 升降杆，沿Z方向延伸并在Z方向上作升降运动； 基准板，固定连接于所述升降杆的顶端； 前后调节组件，用于调节晶圆提篮在X方向上的位置，所述前后调节组件包括位于所述基准板上的前后位置调节板及沿Y方向依次且间隔设置的一对固定块组件，每一所述固定块组件包括沿X方向依次且间隔设置的第一固定块与第二固定块、前后调节螺栓、第一前后调节螺母及第二前后调节螺母，所述第一固定块固定于所述基准板，所述第二固定块固定于所述前后位置调节板，所述前后调节螺栓沿X方向依次贯穿所述第一固定块与所述第二固定块，所述第一前后调节螺母和所述第二前后调节螺母沿X方向设置于所述第二固定块的两侧并均与所述前后调节螺栓配合连接； 调平组件，用于调节所述晶圆提篮在X-Y平面上的水平度，所述调平组件包括调平板、调平螺栓与定位螺栓，所述调平板位于所述前后位置调节板上，所述调平螺栓贯穿所述调平板并与所述前后位置调节板接触，所述调平螺栓通过旋进量的改变调节所述调平板与所述前后位置调节板之间的Z方向间距以实现所述晶圆提篮在X-Y平面上的水平度调节，所述调平螺栓中设有过孔，所述定位螺栓的螺柱包括紧挨螺栓头的无螺纹部和远离螺栓头的有螺纹部，所述无螺纹部穿设于所述过孔中并与所述过孔精密配合，所述有螺纹部与所述前后位置调节板螺纹连接； 旋转组件，用于调节所述晶圆提篮的旋转角度，所述旋转组件包括可绕转轴在预设角度范围内旋转的旋转板，所述旋转板包括水平板与竖直板，所述水平板位于所述调平板上且设有显露所述调平螺栓的开口，所述转轴沿Z方向延伸贯穿所述水平板和所述调平板，且所述转轴的底端与所述前后位置调节板之间具有间隙，所述竖直板连接于所述水平板的远离所述转轴的一端，所述竖直板用于与所述晶圆提篮连接以带动所述晶圆提篮前后移动、调平及旋转。

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