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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种外延前晶圆表面处理方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008447B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411468976.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种外延前晶圆表面处理方法及装置是由沈锋;焦国玺;翁国勇;胡世棋设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延前晶圆表面处理方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延前晶圆表面处理方法及装置，涉及晶圆技术领域。所述方法包括：设定预设入射角度，对目标晶圆进行X射线全反射扫描，探测器捕捉并生成目标晶圆的三维映射光谱；预处理表面检测记录，数据驱动监督训练表面检测模块；接收三维映射光谱，基于表面检测模块进行瑕疵要素识别与整合，确定表面瑕疵分布；协同干法处理方式与湿法处理方式，遍历表面瑕疵分布进行单项瑕疵处理决策，以交叉感染为约束进行全局性寻优，确定表面处理策略；设备组响应所述表面处理策略，对目标晶圆进行预定位与瑕疵处理。解决了现有技术中晶圆表面瑕疵处理效率较低的技术问题，通过优化表面处理策略，达到了提高晶圆表面瑕疵处理效率的技术效果。

本发明授权一种外延前晶圆表面处理方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种外延前晶圆表面处理方法，其特征在于，所述方法包括： 设定预设入射角度，基于荧光光谱仪对目标晶圆进行X射线全反射扫描，探测器捕捉并生成所述目标晶圆的三维映射光谱； 调用表面检测记录，以痕量元素、表面化学状态与微纳结构为识别维度，预处理所述表面检测记录，数据驱动监督训练表面检测模块，其中，预处理结果包含维度检测架构与预处理样本； 接收所述三维映射光谱，基于所述表面检测模块进行瑕疵要素识别与整合，确定表面瑕疵分布，其中，各分布瑕疵标识有相对空间位置； 协同干法处理方式与湿法处理方式，遍历所述表面瑕疵分布进行单项瑕疵处理决策，以交叉感染为约束进行全局性寻优，确定表面处理策略，所述表面处理策略包含多处理节点； 设备组响应所述表面处理策略，对所述目标晶圆进行预定位与瑕疵处理； 遍历所述表面瑕疵分布进行单项瑕疵处理决策，以交叉感染为约束进行全局性寻优，包括： 构建决策数据库，所述决策数据库包含干法策略子库与湿法策略子库； 遍历所述表面瑕疵分布，以各表面瑕疵为一级贪心目标，基于所述决策数据库进行贪心搜索，确定备选策略库； 以最优备选为二级贪心目标，遍历所述备选策略库进行贪心搜索，确定初始化贪心策略并调整，确定单项策略集，所述备选策略库、所述单项策略集与所述表面瑕疵分布存在对应关系； 遍历所述单项策略集，基于策略交叉污染进行全局性迭代寻优，确定所述表面处理策略； 基于策略交叉污染进行全局性迭代寻优，包括： 基于所述备选策略库，建立全局寻优空间； 构建第一策略组与第二策略组，将所述单项策略集存入所述第二策略组，对所述第一策略组进行初始化空置； 遍历所述第二策略组，识别并标记策略的交叉污染特征，基于所述全局寻优空间进行循环判断与策略转移，确定所述表面处理策略。

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