上海通嘉宏盛半导体设备有限公司刘国莉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请的专利一种气体消减系统及其气路冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222975292U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422180195.4，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种气体消减系统及其气路冷却装置是由刘国莉;季慧;费纲刚;马哲设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体消减系统及其气路冷却装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种气体消减系统及其气路冷却装置，该气路冷却装置包括冷却本体、通气孔和冷却通道，通气孔贯穿设置于冷却本体的中央区域，通气孔的两端分别用于与离子发生装置和反应腔室相连通；冷却通道设置于冷却本体的内部并围设于通气孔的外侧；冷却通道用于流经冷却物质以冷却流经通气孔的气体。在不改变原有气体通道的前提下，通过在冷却本体内设置冷却通道，可以对流经通气孔内的离子气体进行冷却降温，降低进入反应腔室的气体温度，使反应腔室内的温度不会一直升高，确保反应腔室内的气体反应速率，以去除相关目标气体；另外，降低反应腔室的温度还可以延长其使用寿命，节约成本。
本实用新型一种气体消减系统及其气路冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种用于气体消减系统的气路冷却装置，其特征在于，所述气路冷却装置包括： 冷却本体； 通气孔，所述通气孔贯穿设置于所述冷却本体的中央区域，所述通气孔的两端分别用于与离子发生装置和反应腔室相连通； 冷却通道，所述冷却通道设置于所述冷却本体的内部并围设于所述通气孔的外侧；其中， 所述冷却通道，用于流经冷却物质以冷却流经所述通气孔的气体。
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