成都高真科技有限公司张成根获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利光刻胶气泡消除装置及光刻系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979912U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422179588.3，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型光刻胶气泡消除装置及光刻系统是由张成根;林锺吉;金在植设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶气泡消除装置及光刻系统在说明书摘要公布了：本实用新型具体涉及一种光刻胶气泡消除装置和光刻系统，其中，光刻胶气泡消除装置包括主体和隔膜，主体具有第一流道和第二流道，第一流道用于输送光刻胶，并具有进液端和出液端，第二流道的输入端与第一流道位于进液端和出液端之间的部分相连通，第二流道用于输送光刻胶中的气体。隔膜设于主体，至少部分隔膜位于第一流道与第二流道的输入端之间，以将第一流道和第二流道隔开。本实用新型的光刻胶气泡消除装置，在具有气泡的光刻胶在第一流道中流动时，气泡经过隔膜进入第二流道并排出，而光刻胶由于无法通过隔膜则从第一流道的输出端排出，从而实现在光刻胶中气泡的去除，有助于保障光刻系统中光刻胶的喷射量恒定，并减少光刻胶的浪费。
本实用新型光刻胶气泡消除装置及光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶气泡消除装置，其特征在于，包括： 主体，所述主体具有第一流道和第二流道，其中，所述第一流道具有进液端和出液端，所述第一流道用于输送光刻胶，所述第二流道的输入端与所述第一流道位于所述进液端和所述出液端之间的部分相连通，所述第二流道用于输送所述光刻胶中的气体； 隔膜，设于所述主体，至少部分所述隔膜位于所述第一流道与所述第二流道的输入端之间，以将所述第一流道和所述第二流道隔开。
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