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龙图腾网获悉陕西江和网络科技有限公司申请的专利一种精密的半导体光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979917U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422175054.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种精密的半导体光刻设备是由何志森设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精密的半导体光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种精密的半导体光刻设备，包括，光刻机构，防护机构，所述防护机构与光刻机构固定连接，所述防护机构包括动力盒，所述动力盒内壁的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有蜗杆组件，所述蜗杆组件的顶部转轴活动连接有挡板，所述挡板的外侧与动力盒的内壁固定连接，所述动力盒内壁的背面通过转杆活动连接有收缩轮。本实用新型通过设置防护机构，改变了传统半导体光刻设备在闲置时由于没有防护措施，导致灰尘等污渍对光刻设备造成污染，在后续进行光刻作业时若不及时清理会造成严重后果的现象，能够有效的对光刻设备进行防护作业，避免其受到灰尘等因素的影响。

本实用新型一种精密的半导体光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种精密的半导体光刻设备，其特征在于，包括： 光刻机构（1）； 防护机构（2），所述防护机构（2）与光刻机构（1）固定连接，所述防护机构（2）包括动力盒（21），所述动力盒（21）内壁的底部固定连接有电机（22），所述电机（22）的输出端固定连接有蜗杆组件（23），所述蜗杆组件（23）的顶部转轴活动连接有挡板（24），所述挡板（24）的外侧与动力盒（21）的内壁固定连接，所述动力盒（21）内壁的背面通过转杆活动连接有收缩轮（25），所述收缩轮（25）的正面固定连接有蜗轮组件（26），所述蜗轮组件（26）与蜗杆组件（23）啮合，所述收缩轮（25）的表面传动连接有传动带（27），所述动力盒（21）内壁的背面通过转杆活动连接有转向轮（28），所述转向轮（28）的表面与传动带（27）传动连接，所述动力盒（21）内壁的左侧固定连接有滑杆（29），所述滑杆（29）的另一侧与动力盒（21）的内壁固定连接，所述滑杆（29）的表面滑动连接有传动杆（210），所述传动杆（210）的顶部延伸至动力盒（21）的外侧，所述传动杆（210）的背面通过滑块滑动连接有限位滑轨（211），所述限位滑轨（211）的背面与动力盒（21）的内壁固定连接，所述传动杆（210）的底部固定连接有拉块组件（212），所述拉块组件（212）的底部与传动带（27）远离收缩轮（25）的一侧传动连接，所述传动杆（210）的背面固定连接有遮罩盖（213），所述滑杆（29）的表面套接有归位弹簧（214），所述归位弹簧（214）的内侧与传动杆（210）的外侧固定连接。

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