安徽微迈思科技有限公司陈景升获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉安徽微迈思科技有限公司申请的专利一种防堵线源蒸镀坩埚获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222975271U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422165058.3,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种防堵线源蒸镀坩埚是由陈景升;陈榆;孟祥好设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防堵线源蒸镀坩埚在说明书摘要公布了:本申请公开了一种防堵线源蒸镀坩埚,通过在蒸镀时能够将防堵加热组件设置于喷嘴外周侧,使得防堵加热组件的热保温罩内的螺旋电热丝能够对喷嘴进行加热进而能够提高喷嘴内侧的温度,进而在蒸镀过程中,蒸镀设备的加热源对坩埚本体底部加热使其内腔中的蒸镀材料高温受热转变为气态分子并经由坩埚盖喷嘴溢出,喷嘴通过螺旋电热丝的加热以及热保温罩对加热热量的反射保温,进而使得喷嘴周侧的温度保证较高状态,避免喷嘴侧壁温度的流失,从而能够避免由于喷嘴的温度较低使得蒸镀材料冷凝堆积在喷嘴内侧壁上,从而保证了蒸镀材料的蒸发速度以及蒸镀形成的薄膜质量。
本实用新型一种防堵线源蒸镀坩埚在权利要求书中公布了:1.一种防堵线源蒸镀坩埚,包括坩埚本体1、线源坩埚盖2、喷嘴3和防堵加热组件4,所述坩埚本体1顶部设置有线源坩埚盖2,所述线源坩埚盖2上沿其长度方向设置有多个喷嘴3,其特征在于,所述线源坩埚盖2上方设置有防堵加热组件4,所述防堵加热组件4的两侧均安装有竖直设置的电动推杆5,所述电动推杆5能够带动所述防堵加热组件4移动至所述喷嘴3周侧,所述防堵加热组件4包括螺旋电热丝41、防护壳42和热保温罩43,所述防护壳42两端分别与所述电动推杆5的伸出端固定连接,所述防护壳42上沿其长度方向开设有多个贯穿上下面的连接孔44,多个所述连接孔44的设置位置与多个所述喷嘴3的设置位置一一对应,且所述连接孔44的内径尺寸与所述喷嘴3的外径尺寸相适配,所述防护壳42内位于每个所述连接孔44位置处均对应固定设有热保温罩43,每个所述热保温罩43的顶部均贯穿开设有插孔45,所述插孔45的直径尺寸与所述连接孔44的直径尺寸相一致且两者对应连通设置,每个所述热保温罩43内均设置有螺旋电热丝41,当所述电动推杆5带动所述防堵加热组件4移动至所述喷嘴3周侧时,所述连接孔44和所述插孔45均安装于所述喷嘴3外侧壁处,且所述螺旋电热丝41套置于所述喷嘴3外周侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽微迈思科技有限公司,其通讯地址为:239000 安徽省滁州市明光市明东街道浮山路86号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。