江阴市辉龙电热电器有限公司苗培仁获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴市辉龙电热电器有限公司申请的专利间歇流量过热蒸汽发生装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222978104U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422162768.0，技术领域涉及：F22B1/28；该实用新型间歇流量过热蒸汽发生装置是由苗培仁;胡凯;刘志勇;于枫设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本间歇流量过热蒸汽发生装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种间歇流量过热蒸汽发生装置，用于晶圆的烘干，包括过热蒸汽发生器，用于产生过热饱和蒸汽；控制单元，用于控制所述过热蒸汽发生器产生恒温、恒压、间歇过热饱和蒸汽；其中所述过热蒸汽发生器包括喷嘴，用于将输入至所述过热蒸汽发生器的液体雾化；汽化段加热器，用于将雾化后的液体汽化；过热段加热器，用于将汽化后的液体加热到所需温度，形成所述过热饱和蒸汽。本实用新型的过热饱和蒸汽除了有加热烘干的作用，还比热氮气具有更好的清洁效果。
本实用新型间歇流量过热蒸汽发生装置在权利要求书中公布了：1.间歇流量过热蒸汽发生装置，其特征在于，包括： 过热蒸汽发生器，用于产生过热饱和蒸汽； 控制单元，用于控制所述过热蒸汽发生器产生恒温、恒压、间歇过热饱和蒸汽； 其中所述过热蒸汽发生器包括： 喷嘴，用于将输入至所述过热蒸汽发生器的液体雾化； 汽化段加热器，用于将雾化后的液体汽化； 过热段加热器，用于将汽化后的液体加热到所需温度，形成所述过热饱和蒸汽。
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