杭州积海半导体有限公司黄宽信获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利温度监控模块以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222978960U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422163963.5，技术领域涉及：G01K13/00；该实用新型温度监控模块以及半导体制造设备是由黄宽信设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度监控模块以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种温度监控模块以及半导体制造设备，温度监控模块包括：监测单元、储存单元以及通信单元；监测单元以及储存单元均设置于晶圆上；通信单元位于半导体机台的内部，晶圆在开始监测前，或结束监测后，与通信单元连接；通信单元与外部机台通信连接，用于向外部机台传输温度数据，以与半导体机台内部的温度传感器测得的温度数据相比较。如此配置，通过将通信单元设置在半导体机台的内部，使得温度监控模块能够在机台内部完成信息交互，不影响机台的正常运行；同时，将监测单元测得的温度数据与机台内部的温度传感器测得的温度数据相比较，形成了监测单元与温度传感器之间的相互监控机制，提升了对热板温度测量的准确性。
本实用新型温度监控模块以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种温度监控模块，其特征在于，包括：监测单元、储存单元以及通信单元； 所述监测单元以及所述储存单元均设置于晶圆上，所述监测单元用于获取热板的温度数据，所述储存单元用于存储所述监测单元测得的温度数据； 所述通信单元位于半导体机台的内部，所述晶圆在开始监测前，或结束监测后，与所述通信单元连接，以实现所述储存单元与所述通信单元之间的信息交互； 所述通信单元与外部机台通信连接，用于向所述外部机台传输温度数据，以与所述半导体机台内部的温度传感器测得的温度数据相比较。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州积海半导体有限公司，其通讯地址为：311225 浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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