株洲中车时代半导体有限公司宁田丽获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲中车时代半导体有限公司申请的专利一种降低光刻胶用量的喷涂系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979911U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422152648.2，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种降低光刻胶用量的喷涂系统是由宁田丽;程艳良;王志轮;岳金亮;魏宏杰;唐金玉设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低光刻胶用量的喷涂系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于电子器件制备技术领域，具体是涉及到一种降低光刻胶用量的喷涂系统，包括主管，所述主管上连接有背洗管、去边管以及RRC管，所述背洗管的端部设置有背洗管喷头，所述去边管的端部设置有去边管喷头，所述RRC管的端部设置有RRC管喷头，所述背洗管喷头位于待喷涂光刻胶的晶圆的下方，所述去边管喷头位于所述晶圆的边缘，所述RRC管喷头位于所述晶圆的上方，本实用新型在保证刻蚀效果的情况下，降低光刻胶的用量，提高喷涂效果，降低生产成本。
本实用新型一种降低光刻胶用量的喷涂系统在权利要求书中公布了：1.一种降低光刻胶用量的喷涂系统，其特征是，包括主管（1），所述主管（1）上连接有背洗管（2）、去边管（4）以及RRC管（3），所述背洗管（2）的端部设置有背洗管喷头（22），所述去边管（4）的端部设置有去边管喷头（42），所述RRC管（3）的端部设置有RRC管喷头（32），所述背洗管喷头（22）位于待喷涂光刻胶的晶圆（6）的下方，所述去边管喷头（42）位于所述晶圆（6）的边缘，所述RRC管喷头（32）位于所述晶圆（6）的上方。
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