九江正启微电子有限公司雒永利获国家专利权
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龙图腾网获悉九江正启微电子有限公司申请的专利一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222971859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422122909.6,技术领域涉及:B24B37/10;该实用新型一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置是由雒永利;刘志勇;刘晓阳设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及集成电路芯片生产设备技术领域,尤其涉及一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置。本实用新型能够对晶圆片进行多精度的往复研磨,使得晶圆片的研磨速度更快,提高晶圆片的研磨效果和效率。本实用新型包括有底架、丝杆和电机一等;底架上转动式连接有丝杆,底架上设有电机一。人工将晶圆片放置在放置架上,然后人工再启动电机一、电机二、电机三、三个电动推杆和三个电机四,两个夹板会夹住晶圆片,这样能够对放置在放置架上的晶圆片进行夹紧,使得晶圆片在后续加工中更加稳定,且能够适应不同大小的晶圆片,还能够对晶圆片进行多精度的往复研磨,使得晶圆片的研磨速度更快,提高晶圆片的研磨效果和效率。
本实用新型一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种集成电路芯片生产用的晶圆高效研磨装置,其特征在于,包括有底架、丝杆、电机一、滑板、夹紧部件、转动部件和研磨部件,底架上部转动式连接有丝杆,底架一侧设有电机一,电机一的输出轴与丝杆固定连接,底架上部滑动式连接有滑板,夹紧部件设置在滑板上,转动部件设置在底架上,研磨部件设置在转动部件上。
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