深圳黑晶光电技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳黑晶光电技术有限公司申请的专利蒸镀设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222975269U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422127330.9,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型蒸镀设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀设备在说明书摘要公布了:本申请涉及薄膜沉积技术领域,公开了一种蒸镀设备,包括蒸镀腔室、基台、蒸发源、第一遮挡装置和第二遮挡装置。其中,第一遮挡装置设置于蒸镀腔体内,包括位于基台与蒸发源之间的第一挡板,第一挡板能够在蒸镀腔体内活动,以隔离基台与蒸发源或使基台暴露于蒸发源;第二遮挡装置设置于蒸镀腔体内,包括位于第一挡板与基台之间的第二挡板,第二挡板能够在蒸镀腔体内活动,以隔离基台与蒸发源或使基台暴露于蒸发源,第二挡板的中心具有第一通道,第一挡板能够遮挡第一通道。本申请提供的蒸镀设备,解决了相关技术中蒸镀设备无法同时镀出多种膜厚的技术问题。
本实用新型蒸镀设备在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀设备,其特征在于,包括: 蒸镀腔室,具有蒸镀腔体; 基台,设置于所述蒸镀腔体内,且用于固定待镀膜的基板; 蒸发源,设置于所述蒸镀腔体内,且用于加热蒸镀材料; 第一遮挡装置,设置于所述蒸镀腔体内,所述第一遮挡装置包括沿第一方向位于所述基台与所述蒸发源之间的第一挡板,所述第一挡板能够在所述蒸镀腔体内活动,以隔离所述基台与所述蒸发源或使所述基台暴露于所述蒸发源; 第二遮挡装置,设置于所述蒸镀腔体内,所述第二遮挡装置包括沿所述第一方向位于所述第一挡板与所述基台之间的第二挡板,所述第二挡板能够在所述蒸镀腔体内活动,以隔离所述基台与所述蒸发源或使所述基台暴露于所述蒸发源,所述第二挡板的中心具有第一通道,所述第一挡板沿所述第一方向的投影落入所述第二挡板沿所述第一方向的投影之内,并且所述第一挡板能够遮挡所述第一通道。
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