江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980479U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422132866.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆传输装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆传输装置，晶圆传输装置用于多个晶圆处理机构之间传输晶圆，晶圆传输装置包括：夹取机构，夹取机构包括支撑架和夹持件，夹持件用于夹持晶圆，并且夹持件连接至支撑架，夹取机构的数量为多个，夹取机构被配置为用于在多个晶圆处理机构之间从一个晶圆处理机构中夹取晶圆传输至另一个晶圆处理机构；其中，多个晶圆处理机构沿第一方向排布，多个夹取机构的支撑架分别设在多个晶圆处理机构沿第二方向的两侧。根据本实用新型的晶圆传输装置，将多个夹取机构的支撑架设在晶圆处理机构的两侧，可以方便晶圆处理机构的布置，提升布局的合理性，同时，还可以防止相邻夹取机构的夹持件相互碰撞，保证晶圆能够正常传输。
本实用新型晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置100，所述晶圆传输装置100用于多个晶圆处理机构10之间传输晶圆，其特征在于，包括： 夹取机构20，所述夹取机构20包括支撑架和夹持件24，所述夹持件24用于夹持晶圆，并且所述夹持件24连接至所述支撑架，所述夹取机构20的数量为多个，所述夹取机构20被配置为用于在多个所述晶圆处理机构10之间从一个所述晶圆处理机构10中夹取晶圆传输至另一个所述晶圆处理机构10； 其中，多个所述晶圆处理机构10沿第一方向排布，多个所述夹取机构20的支撑架分别设在多个所述晶圆处理机构10沿第二方向的两侧，所述第二方向与所述第一方向相交。
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