华虹半导体(无锡)有限公司孙天旭获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利应用于光刻设备的信号线固定支架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422084330.5，技术领域涉及：H01R13/639；该实用新型应用于光刻设备的信号线固定支架是由孙天旭;高中原;崔振星设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于光刻设备的信号线固定支架在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于光刻设备的信号线固定支架，包括：基板，其包括一体成型的第一基板和第二基板，第一基板和第二基板相互垂直，第二基板上形成有至少两个螺丝孔，该螺丝孔用于通过螺丝将固定支架安装在光刻设备的框架上；其中，第一基板上形成有多个插线孔，每个插线孔上设置有缓冲垫，该缓冲垫由弹性材料构成，该弹性材料包括橡胶、聚合物材料以及木质材料中的至少一种，该插线孔用于固定和连接信号线，该信号线是光刻设备中的晶圆传送单元的信号线。本实用新型通过在用于连接晶圆传送单元的信号线的信号线固定支架的插线孔上设置缓冲垫，降低了因为信号线的松脱所导致的通信故障。
本实用新型应用于光刻设备的信号线固定支架在权利要求书中公布了：1.一种应用于光刻设备的信号线固定支架，其特征在于，包括： 基板，所述基板包括一体成型的第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板相互垂直，所述第二基板上形成有至少两个螺丝孔，所述螺丝孔用于通过螺丝将所述固定支架安装在光刻设备的框架上； 其中，所述第一基板上形成有多个插线孔，每个插线孔上设置有缓冲垫，所述缓冲垫由弹性材料构成，所述弹性材料包括橡胶、聚合物材料以及木质材料中的至少一种，所述插线孔用于固定和连接信号线，所述信号线是光刻设备中的晶圆传送单元的信号线。
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