珠海市骏逸电子科技有限公司罗弦获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市骏逸电子科技有限公司申请的专利一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222981720U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422009648.7,技术领域涉及:H05H1/26;该实用新型一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置是由罗弦设计研发完成,并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置,包括内腔中空的外壳,外壳由一体化结构的顶板、前侧板、后侧板、左侧板、右侧板和底板组成,左侧板和右侧板上设有将工艺气体输入外壳内腔的输气组件,外壳内腔设有与工艺气体配合且向外壳内腔气体进行放电的电离组件,底板由前布气板和后布气板组成,前布气板和后布气板之间留有间隙,该常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置,通过输气组件将工艺气体通入外壳内腔,通过电离组件内腔气体进行放电形成等离子体,等离子气体通过前布气板和后布气板之间间隙线性喷出,均匀的对物料进行清洗,有效提高了处理的均匀性。
本实用新型一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置在权利要求书中公布了:1.一种常压下低频氮气DBD式宽幅等离子处理装置,其特征在于,包括内腔中空的外壳(1),所述外壳(1)由一体化结构的顶板(101)、前侧板(102)、后侧板(103)、左侧板(104)、右侧板(105)和底板(106)组成,所述左侧板(104)和右侧板(105)上设有将工艺气体输入外壳(1)内腔的输气组件,所述外壳(1)内腔设有与工艺气体配合且向外壳(1)内腔气体进行放电的电离组件,所述底板(106)由前布气板(106-1)和后布气板(106-2)组成,所述前布气板(106-1)和后布气板(106-2)之间留有间隙。
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