成都奋羽电子科技有限公司王邱林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都奋羽电子科技有限公司申请的专利一种增强微波等离子体的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222981722U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422005745.9,技术领域涉及:H05H1/46;该实用新型一种增强微波等离子体的装置是由王邱林;吉皓;刘鑫设计研发完成,并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种增强微波等离子体的装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种增强微波等离子体的装置,包括装置外导体,装置外导体内部设有装置内导体和电磁增强组件,装置内导体位于电磁增加组件的后方,装置外导体与装置内导体之间形成装置腔体,装置外导体与电磁增强组件之间设有绝缘介质,同轴馈线内导体与装置内导体连接。本申请的有益效果:通过增加电感线圈,产生感应磁场,让微波等离子体能在低于1pa的真空环境下正常运行;通过调节电流大小,精准控制感应磁场强度,从而控制等离子体的区域;小尺寸下方便布置,感应线圈内部可做成中空,方便通水、通风冷却,确保长期可靠性。
本实用新型一种增强微波等离子体的装置在权利要求书中公布了:1.一种增强微波等离子体的装置,包括装置外导体5,其特征在于:所述的装置外导体5内部设有装置内导体9和电磁增强组件,装置内导体9位于电磁增加组件的后方,装置外导体5与装置内导体9之间形成装置腔体8,装置外导体5与电磁增强组件之间设有绝缘介质10,同轴馈线内导体4与装置内导体9连接。
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