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拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利排气降温装置及加热炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222978618U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421980659.3,技术领域涉及:F27D17/28;该实用新型排气降温装置及加热炉是由龙占勇;周亮;金文凯;李燕清;王勤勤;林佳继设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

排气降温装置及加热炉在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体制造技术领域,公开了一种排气降温装置及加热炉。该装置安装于加热炉,包括抽气结构、第一排气管、第二排气管和第三排气管。抽气结构用于产生负压,第一排气管和第二排气管连通于抽气结构和加热炉的装载室之间,第二排气管用于改变排气降温装置对装载室的抽气降温效率,第三排气管连通于抽气结构和清扫腔之间。该装置使得炉管逸散的热量中能够转移至装载室的部分热量减少,也就减少了装载室所接收的热量,配合对装载室的抽气降温,能够更好地对装载室内的温度进行控制,防止装载室内的器件受高温损坏,保障加热炉的正常运作和使用寿命,并兼顾抽气降温和防止震动的效果。

本实用新型排气降温装置及加热炉在权利要求书中公布了:1.排气降温装置,安装于加热炉,其特征在于,包括: 抽气结构,所述抽气结构用于产生负压; 第一排气管,所述第一排气管的出气端连通于所述抽气结构,所述第一排气管的进气端连通于所述加热炉的装载室; 第二排气管,所述第二排气管的出气端连通于所述抽气结构,所述第二排气管的进气端连通于所述加热炉的装载室,所述第二排气管用于改变所述排气降温装置对所述装载室的抽气降温效率; 第三排气管,所述第三排气管的出气端连通于所述抽气结构,所述第三排气管的进气端连通于所述加热炉的清扫腔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司,其通讯地址为:510535 广东省广州市黄埔区瑞泰路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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