买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利一种MEMS芯片获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222981670U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421990182.7，技术领域涉及：H04R19/00；该实用新型一种MEMS芯片是由石正雨;朱莉莉;黄湘俊;胡绍璐设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS芯片在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种MEMS芯片，包括：基底；传感器，其包括背板和分别位于背板两侧的第一振膜和第二振膜，第一振膜和第二振膜之间通过多个连接柱连接；连接结构，连接基底和传感器，使背板与基底相对固定，并使第一振膜和第二振膜可相对基底振动，连接结构包括与背板平行的第一连接板，第一连接板呈环状环绕在第一振膜外并与第一振膜连接，第一连接板上环绕第一振膜开设有隔离槽，隔离槽内填充有绝缘材料形成隔离环，隔离环使第一振膜和第一连接板位于隔离槽外侧的部分形成绝缘，基底位于第一连接板远离第二振膜一侧，第一连接板位于隔离槽外侧的部分与基底连接。本申请可降低第一振膜和基底之间产生的寄生电容，提高传感器的灵敏度，提高MEMS芯片的灵敏度。

本实用新型一种MEMS芯片在权利要求书中公布了：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括： 基底1； 传感器2，其包括背板21和分别位于所述背板21两侧的第一振膜22和第二振膜23，所述第一振膜22和所述第二振膜23分别与背板21间隔设置，所述第一振膜22和所述第二振膜23的边沿密封连接，所述第一振膜22和所述第二振膜23之间形成低压密封空腔，所述背板21位于低压密封空腔内，所述第一振膜22和所述第二振膜23之间通过多个连接柱24连接，所述连接柱24穿过背板21，多个连接柱24在背板21平面内间隔分布，背板21上开设供连接柱24穿过的通孔； 连接结构3，其连接所述基底1和所述传感器2，使所述背板21与所述基底1相对固定，并使所述第一振膜22和所述第二振膜23可相对所述基底1振动，所述连接结构3包括与背板21平行的第一连接板31，所述第一连接板31呈环状环绕在所述第一振膜22外并与所述第一振膜22连接，所述第一连接板31上环绕所述第一振膜22开设有隔离槽311，所述隔离槽311内填充有绝缘材料形成隔离环38，所述隔离环38使所述第一振膜22和所述第一连接板31位于所述隔离槽311外侧的部分形成绝缘，所述基底1位于所述第一连接板31远离所述第二振膜23一侧，所述第一连接板31位于所述隔离槽311外侧的部分与所述基底1连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北九峰山实验室，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。