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龙图腾网获悉武汉帝尔激光科技股份有限公司申请的专利一种激光巨量转移装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222981930U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421989385.4，技术领域涉及：H10H29/03；该实用新型一种激光巨量转移装置是由杨震;蒋一鸣;陈杰;朱凡设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光巨量转移装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种激光巨量转移装置，属于半导体技术领域。所述激光巨量转移装置包括激光加工模块、晶圆固定件、基板支撑台和调节组件；激光加工模块、晶圆固定件和基板支撑台依次间隔布置，激光加工模块用于对晶圆上芯片照射，晶圆固定件用于固定晶圆于基板上方，基板支撑台用于支撑基板；调节组件包括调节模块、晶圆高度测量传感器、基板高度测量传感器、横移模块和控制模块，所述横移模块用于驱动所述晶圆固定件和所述调节模块沿第二方向或者第三方向步进移动，调节模块的输出端与基板支撑台连接。本实用新型实施例提供的一种激光巨量转移装置，可以使得转移加工过程中晶圆与基板上相对应的各区域均在空间位置保持一致。

本实用新型一种激光巨量转移装置在权利要求书中公布了：1.一种激光巨量转移装置，其特征在于，所述激光巨量转移装置包括激光加工模块、晶圆固定件、基板支撑台和调节组件； 所述激光加工模块、所述晶圆固定件和所述基板支撑台在第一方向上依次间隔布置，所述激光加工模块用于对晶圆上芯片照射，所述晶圆固定件用于固定晶圆于基板上方，所述基板支撑台用于支撑基板； 所述调节组件包括调节模块、晶圆高度测量传感器、基板高度测量传感器、横移模块和控制模块，所述横移模块用于驱动所述晶圆固定件和所述调节模块沿第二方向或者第三方向步进移动，所述晶圆高度测量传感器和所述基板高度测量传感器分别用于所述晶圆固定件和所述调节模块每步进移动一次则测量晶圆上一个区域与基板上一个区域在第一方向上的高度，所述调节模块的输出端与所述基板支撑台连接，以在所述晶圆固定件和所述调节模块每步进移动一次后调节基板相对晶圆的倾斜角和间距，使得晶圆上各区域和基板上相对的各区域之间在第一方向上的距离相同，所述控制模块分别与所述晶圆高度测量传感器、所述基板高度测量传感器和所述调节模块电连接。

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