杭州美迪凯微电子有限公司葛文志获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州美迪凯微电子有限公司申请的专利一种高稳定性的干法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421943695.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种高稳定性的干法刻蚀设备是由葛文志设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高稳定性的干法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于干法刻蚀设备技术领域，且公开了一种高稳定性的干法刻蚀设备，包括刻蚀机，所述刻蚀机内腔的底部呈镜像活动连接有两个转轴，所述转轴的两端均固定连接有轮子。通过设置有转轴、齿轮、引导槽和弧形块等结构，使得装置具有方便对刻蚀机进行移动和固定，从而提高装置便捷性和稳定性的作用，通过旋转螺纹杆，使其带动方形板朝刻蚀机的内部移动，从而带动两个圆杆沿着两个引导槽的轨迹滑动，进而通过圆杆带动两个第一斜块相反移动，从而挤压第二斜块和其底部的弹片下行，弹片下行带动弧形块与齿轮卡接，从而固定齿轮的位置，使得转轴无法旋转，进而对刻蚀机的整体位置进行固定，使得刻蚀机在运行时保持稳定。
本实用新型一种高稳定性的干法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种高稳定性的干法刻蚀设备，包括刻蚀机1，其特征在于：所述刻蚀机1内腔的底部呈镜像活动连接有两个转轴2，所述转轴2的两端均固定连接有轮子3，所述转轴2外表面的中部固定连接有齿轮4，所述刻蚀机1内腔的底部活动连接方形板5，所述方形板5的表面开设有两个朝向相反的引导槽6，所述刻蚀机1的内部活动连接有位于方形板5两侧的第一斜块7和第二斜块9，两个所述第一斜块7相对一侧的内部均设置有圆杆8，所述第二斜块9的底部固定连接有弧形块11，所述弧形块11的底部固定连接有齿牙卡块12，所述刻蚀机1靠近方形板5的一侧螺纹连接有螺纹杆13。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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