芯栋微(上海)半导体技术有限公司史蒂文·贺·汪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯栋微(上海)半导体技术有限公司申请的专利对齐检测装置以及工艺控制系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222978791U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421935960.2，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型对齐检测装置以及工艺控制系统是由史蒂文·贺·汪;王亦天;印琼玲;王涛设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本对齐检测装置以及工艺控制系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种对齐检测装置以及工艺控制系统，该对齐检测装置包括处理器和对齐处理模组，对齐处理模组包括信号发射单元和信号反射单元；信号发射单元和信号反射单元分别位于最外端的两个待测结构上；在标定对齐状态下，信号发射单元、每个定位孔以及信号反射单元位于同一对齐基准线上；在进行实际对齐检测时，信号发射单元用于发射初始信号；信号反射单元用于发出反射信号；处理器用于接收反射信号，发出用于表征不同的待测结构之间的对齐状态的第一提示信号；和或，发出用于表征对齐处理操作的第一对齐调整指令。本公开中，能够实现对多模组间进行随时随地的精准对齐检测与调整，确保了模组间的精确对接和整体结构的稳定性。
本实用新型对齐检测装置以及工艺控制系统在权利要求书中公布了：1.一种对齐检测装置，其特征在于，所述对齐检测装置包括处理器和N个对齐处理模组，所述对齐处理模组包括与所述处理器通信连接的信号发射单元和信号反射单元，N取正整数； 在对任意检测状态的不同待测结构进行对齐检测时，所述信号发射单元和所述信号反射单元分别位于最外端的两个所述待测结构上，每个所述待测结构上均设置的定位孔； 在标定对齐状态下，所述信号发射单元、每个所述定位孔以及所述信号反射单元位于同一对齐基准线上； 在对不同的所述待测结构进行实际对齐检测时，所述信号发射单元用于沿着预设传输方向发射初始信号； 所述信号反射单元用于基于所述初始信号发出反射信号至所述信号发射单元； 所述处理器用于接收所述反射信号，发出用于表征不同的所述待测结构之间的对齐状态的第一提示信号；和或，发出用于表征对齐处理操作的第一对齐调整指令。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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