矽电半导体设备(深圳)股份有限公司胡耿涛获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利搬运装置及倒片机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222980476U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421820525.5,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型搬运装置及倒片机构是由胡耿涛;林生财设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬运装置及倒片机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种搬运装置及倒片机构,搬运装置包括主体部,具有相对的上侧和下侧,所述主体部的上侧表面限定出第一支撑面和第二支撑面,所述第一支撑面相对于所述第二支撑面朝所述下侧凹陷;推动件,连接于所述主体部,至少一部分所述推动件设于所述第二支撑面;其中,所述推动件可相对于所述主体部沿第一方向和第二方向进行往复运动。本实用新型的搬运装置能够提高更换晶圆的效率和降低晶圆碎片的风险,具有上述搬运装置的倒片机构也具有同样的优点。
本实用新型搬运装置及倒片机构在权利要求书中公布了:1.搬运装置,用于转移晶圆,其特征在于,包括: 主体部,具有相对的上侧和下侧,所述主体部的上侧表面限定出第一支撑面和第二支撑面,所述第一支撑面相对于所述第二支撑面朝所述下侧凹陷; 推动件,连接于所述主体部,至少一部分所述推动件设于所述第二支撑面; 其中,所述推动件可相对于所述主体部沿第一方向和第二方向进行往复运动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,其通讯地址为:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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