通威太阳能(成都)有限公司陈鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利镀膜载具及化学气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222975290U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421793837.1,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型镀膜载具及化学气相沉积装置是由陈鹏;卢达兴设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜载具及化学气相沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种镀膜载具以及化学气相沉积装置。该镀膜载具包括相配合使用且可分离的第一载板和第二载板,第一载板具有第一承载面,第二载板具有第二承载面,当第一载板与第二载板配合使用时,第一承载面与第二承载面相向设置,且第一承载面与第二承载面之间形成片材限位腔。该镀膜载具能够避免片材表面残留吸嘴印,保护待镀膜片材的表面结构,并且片材处于片材限位腔内部,也能够避免待镀膜片材在外界环境中的长时间暴露,从而有效降低镀膜工序的不良率。
本实用新型镀膜载具及化学气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种镀膜载具,其特征在于,包括相配合使用且可分离的第一载板(100)和第二载板(200),所述第一载板(100)具有第一承载面(101),所述第二载板(200)具有第二承载面(201),当所述第一载板(100)与所述第二载板(200)配合使用时,所述第一承载面(101)与所述第二承载面(201)相向设置,且所述第一承载面(101)与所述第二承载面(201)之间形成片材限位腔。
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