先导薄膜材料(淄博)有限公司武前争获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(淄博)有限公司申请的专利一种旋转靶材退绑装置的尾座机构及旋转靶材退绑装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222975273U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421741213.5,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种旋转靶材退绑装置的尾座机构及旋转靶材退绑装置是由武前争;吕过;陈昊鑫;孙光华设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转靶材退绑装置的尾座机构及旋转靶材退绑装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及旋转靶材退绑设备领域,公开了一种旋转靶材退绑装置的尾座机构,包括机架、设置在机架上的第一驱动单元、顶紧单元,所述顶紧单元包括顶尖、支撑平台、弹性模块、限位模块;所述支撑平台与机架滑动连接;所述顶尖的后端设有光轴;所述光轴与支撑平台活动连接;所述弹性模块套设在光轴上;所述限位模块设置在支撑平台上;当第一驱动单元带动支撑平台移动而带动顶尖与旋转靶材接触时,弹性模块被压缩,光轴朝向限位模块移动直至光轴与限位模块接触。本尾座机构能够保证每次装夹靶材的预紧力相同,避免损坏顶尖和旋转靶材。同时,还提供了一种旋转靶材退绑装置。
本实用新型一种旋转靶材退绑装置的尾座机构及旋转靶材退绑装置在权利要求书中公布了:1.一种旋转靶材退绑装置的尾座机构,包括机架、设置在机架上的第一驱动单元、顶紧单元,其特征在于,所述顶紧单元包括顶尖、支撑平台、弹性模块、限位模块;所述支撑平台与机架滑动连接;所述顶尖的后端设有光轴;所述光轴与支撑平台活动连接;所述弹性模块套设在光轴上;所述限位模块设置在支撑平台上; 当第一驱动单元带动支撑平台移动而带动顶尖与旋转靶材接触时,弹性模块被压缩,光轴朝向限位模块移动直至光轴与限位模块接触。
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