广东先导微电子科技有限公司吴瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利显微镜旋转托盘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979863U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421716811.7，技术领域涉及：G02B21/26；该实用新型显微镜旋转托盘装置是由吴瑶;周铁军;毕宏岩;马金峰;田玉莲设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本显微镜旋转托盘装置在说明书摘要公布了：本申请公开了显微镜旋转托盘装置，涉及晶圆检测技术领域，包括载物台、底座以及导气柱；载物台内设有真空腔；载物台顶面设有若干连通真空腔的吸附孔；导气柱垂直于载物台，且其顶部通过旋转接头与载物台的底部转动连接；导气柱内的导气通道经旋转接头与真空腔连接导通；导气柱与底座转动连接，且其转动中心线垂直于载物台的转动中心线。载物台能够实现横向旋转调节以及实现竖向转动调节，以调节倾斜状态；调节简单便利且灵活，可节约检验时间，提高检验效率。
本实用新型显微镜旋转托盘装置在权利要求书中公布了：1.显微镜旋转托盘装置，其特征在于，包括载物台1、底座3以及导气柱2； 所述载物台1内设有真空腔； 所述载物台1顶面设有若干连通所述真空腔的吸附孔11； 所述导气柱2垂直于所述载物台1，且其顶部通过旋转接头22与所述载物台1的底部转动连接； 所述导气柱2内的导气通道21经所述旋转接头22与所述真空腔连接导通； 所述导气柱2与所述底座3转动连接，且其转动中心线垂直于所述载物台1的转动中心线。
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