独山中科晶元信息材料有限公司吕利宁获国家专利权
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龙图腾网获悉独山中科晶元信息材料有限公司申请的专利一种砷化镓晶片表面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980459U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421653460.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种砷化镓晶片表面清洗装置是由吕利宁;粟誉;蒙泽志;代晓波;彭春文;彭海松设计研发完成，并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓晶片表面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种砷化镓晶片表面清洗装置，包括底板，底板顶部的四周均固定连接有支撑柱，支撑柱的顶部固定连接有清洗箱，清洗箱的右侧固定安装有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有支撑架，支撑架内表面前端和后端的两侧均固定连接有阻尼弹簧。本实用新型拉动拉杆，通过拉杆带动限位板向一端移动，同时对阻尼弹簧进行挤压，将需要清洗的砷化镓晶片放置在限位板的一端，松开限位板，利用阻尼弹簧的特性使结构复位，通过驱动电机带动支撑架和砷化镓晶片进行转动，水泵在第二管道和第一管道的配合下，将水喷洒在砷化镓晶片的表面，实现自动翻转，水和砷化镓晶片全方位接触，省时省力，降低清洗的时长，提高清洗的效率。
本实用新型一种砷化镓晶片表面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种砷化镓晶片表面清洗装置，包括底板7，其特征在于：所述底板7顶部的四周均固定连接有支撑柱6，所述支撑柱6的顶部固定连接有清洗箱4，所述清洗箱4的右侧固定安装有驱动电机5，所述驱动电机5的输出端固定连接有支撑架1，所述支撑架1内表面前端和后端的两侧均固定连接有阻尼弹簧3，所述阻尼弹簧3的一端固定连接有限位板2，所述阻尼弹簧3的另一端均固定连接有拉杆22，所述清洗箱4的底部固定连接有输送管13，所述输送管13的底部固定连接有连接箱18，所述连接箱18的背面固定安装有水泵21，所述水泵21的输入端固定连接有第二管道20，所述水泵21的输出端固定连接有第一管道19。
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