无锡晶名光电科技有限公司程鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡晶名光电科技有限公司申请的专利一种清洗效率提高的晶片清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980458U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421550696.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种清洗效率提高的晶片清洗设备是由程鹏;陈元瑞;程波设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗效率提高的晶片清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种清洗效率提高的晶片清洗设备，具体涉及半导体晶片加工技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱内底部一侧设有超声波清洗器，所述清洗箱内设有清洗机构，所述清洗机构包括液压伸缩杆，且液压伸缩杆对称设置于清洗箱底部，两个所述液压伸缩杆的伸缩端于清洗箱内连接有清洗框，本实用新型通过清洗机构，可一次放置多个晶片进行清洗操作，提高清洗效率，并且能够驱动若干晶片跟随转轴同步转动，使其与清洗液均匀接触，并可利用喷孔喷出的清洗液产生的推力驱动横管带动转管转，使横管带动刷毛对晶片清扫处理，提高清洗效果，实用性强；通过固定组件配合液压伸缩杆，可方便拆装放置板，方便对晶片进行拿取，使用方便。
本实用新型一种清洗效率提高的晶片清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗效率提高的晶片清洗设备，包括清洗箱1，其特征在于： 所述清洗箱1内底部一侧设有超声波清洗器2，所述清洗箱1内设有清洗机构，所述清洗机构包括液压伸缩杆3，且液压伸缩杆3对称设置于清洗箱1底部，两个所述液压伸缩杆3的伸缩端于清洗箱1内连接有清洗框4，所述清洗框4顶部固定安装有电机5，且电机5外侧设有防水外壳，所述电机5的输出端于清洗框4内连接有转轴6，且转轴6与清洗框4内壁转动连接，所述清洗框4外侧套设有若干个放置板7，所述放置板7通过固定组件与转轴6相连接，所述转轴6下端于清洗框4底部连接有转动连接头，所述清洗箱1内底部设有水泵15，所述水泵15的输出端通过软管与转动连接头连接。
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