拓荆科技(上海)有限公司唐仁鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种用于稳定气流的分气管路获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222975286U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421525810.4,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种用于稳定气流的分气管路是由唐仁鹏设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于稳定气流的分气管路在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于稳定气流的分气管路,所述分气管路包括:主体、压力调整装置以及压力指示装置;所述主体包括:进气管路、从所述进气管路分出的第一分气管路和第二分气管路;所述进气管路连接反应源;第一分气管路连接腔室;第二分气管路连接抽气泵;其中,所述第一分气管路上设置有压力指示装置;所述压力指示装置包括指示条以及位于所述指示条两侧的两个测量波纹管;其中,所述第二分气管路上设置有压力调整装置;所述压力调整装置包括能在所述主体内部自由滑动的阀芯、套设于所述阀芯外且与所述主体螺纹连接的调节螺母以及锁紧装置。
本实用新型一种用于稳定气流的分气管路在权利要求书中公布了:1.一种用于稳定气流的分气管路,其特征在于,所述分气管路包括: 主体、压力调整装置以及压力指示装置; 所述主体包括:进气管路、从所述进气管路分出的第一分气管路和第二分气管路;所述进气管路连接反应源;第一分气管路连接腔室;第二分气管路连接抽气泵; 其中,所述第一分气管路上设置有所述压力指示装置;所述压力指示装置包括指示条以及位于所述指示条两侧的两个测量波纹管; 其中,所述第二分气管路上设置有所述压力调整装置;所述压力调整装置包括能在所述主体内部自由滑动的阀芯、套设于所述阀芯外且与所述主体螺纹连接的调节螺母以及锁紧装置。
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